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• 定期測量, 即時發現及解決製程問題 - 避免因停工及產品不良造成之損失
• 確保產品一致品質符合製造條件規範 - 避免客訴退貨及重做造成之損失
• 節省能源成本, 延長爐體壽命 - 提高能效降低成本,節能減碳綠能產業
• 優化製程條件, 提高生產技術品質 - 增加產能及利潤, 提高良率及品質
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適用於製程 :爐溫 280 ℃ x 6 min 250 ℃ x 8 min. 烘箱爐溫測量/表面溫度測量/製程設定/製程認證/均溫校正/問題診斷
系統號碼 : PVP-248-217 x 1 set
內含組件:
1 x P/N: DP5660六頻道溫度數據記錄器 DP5 Datalogger 範圍:-100至1370℃,精度:0.5℃,Type K 溫度感測元件,6點式記錄器, 各頻道記錄容量50,000個測值,可程式設定起動記錄方式及記錄間隔 時間(0.05秒至10分鐘),可充電式NIMH電池,附快速充電器, USB介面.
1 x P/N:SW50711 中文爐溫分析診斷軟體 Insight Software 包括電腦連接介面,操作手冊及系統附件.全程記錄分析Wafer各部位在加熱 過程之溫度及時間曲線數據,最高最低溫度(加熱過度或不足),加熱作業基準 溫度及加熱時間,升溫(降溫)速度斜率,全程各點溫度掃描檢視(爐溫均勻度及 問題診斷),各區段溫度分析統計,標準作業爐溫溫度分析報表,比較分析功能, 測點位置圖示,加熱爐製程條件設定儲存,爐溫數據電腦化分析管理.
1 x P/N: TB2064標準隔熱器 Thermal Barrier 不銹鋼構造隔熱器
尺寸 : 133(W) x 210(L) x 20 mm(H)
耐熱時間:280 ℃ x 6 min 250 ℃ x 8 min
200 ℃ x 9 min 150 ℃ x 12 min
重量：0.6kgs.
6 x P/N: 貼附式表面溫度感測元件 Adhesive Patch Thermocouple 範圍:0~265 ℃,1.0 M長,PTFE絕緣導線,感溫靈敏.
2. 附件: 可追溯國際標準認證之原廠儀器校正報告,中英文操作說明書光碟,保固書
3. 教育訓練及實測課程: 專業爐溫監測技術教育訓練課程 / 爐溫監測實測操作.
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